品質檢驗操作程序
熱處理

品質檢驗操作程序

QUALITY INSPECTION


儀器種類

  • 1.晶翔電子P/N type 檢測儀JX2008
  • 2.晶翔電子低電阻儀
  • 3.半自動晶圓電阻及重量量測設備
  • 4.YX-2D6N晶向及NOTCH方位測試儀
  • 5.晶圓高溫熱處理爐

儀器外觀




熱處理

DONOR KILLER


目的

為確認晶圓片正確的P、N type及阻值，進行「Donor Killer」熱處理。

晶圓高溫熱處理爐



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